Boekstra.nl - Elwenspoek, M. (University of Twente, Enschede, The Netherlands), Jansen, H. V. (University of Twente, Enschede, The Netherlands)

Silicon Micromachining

Elwenspoek, M. (University of Twente, Enschede, The Netherlands), Jansen, H. V. (University of Twente, Enschede, The Netherlands)

Omschrijving

This comprehensive book provides an overview of the key techniques used in the fabrication of micron-scale structures in silicon. It is a blend of detailed experimental and theoretical material, and will be of great interest to graduate students and researchers in electrical engineering and materials science whose work involves the study of micro-electromechanical systems (MEMS).

In de winkelwagen Bestel vandaag,
ontvang het met 5 werkdagen. Wenslijst Stel een vraag

In de winkelwagen 14 werkdagen Wenslijst Stel een vraag

Gratis verzending vanaf
€ 19,95 binnen Nederland

Schrijver: Elwenspoek, M. (University of Twente, Enschede, The Netherlands), Jansen, H. V. (University of Twente, Enschede, The Netherlands)
Titel: Silicon Micromachining
Uitgever: Cambridge University Press

Jaar: 2004
Taal: Engels
Pagina's: 420
Gewicht: 773 gr

EAN: 9780521607674
Afmetingen: 254 x 197 x 25 mm
Bindwijze: Paperback

U ontvangt bij ons altijd de laatste druk!

Silicon Micromachining

Elwenspoek, M. (University of Twente, Enschede, The Netherlands), Jansen, H. V. (University of Twente, Enschede, The Netherlands)

Omschrijving

Rubrieken

Rubrieken