X-Ray Metrology in Semiconductor Manufacturing

Bowen, D. Keith (Bede Plc, Tanner, Brian K. (University of Durham

Omschrijving

Emphasizes on practical metrology, with real world examples from the semiconductor and magnetics industries. This book discusses the techniques, theory, and applications of X-ray metrology in semiconductors and other advanced thin films. It covers the essential metrological questions of precision and repeatability, absolute accuracy and spot size.
€ 251,55
Gebonden
Gratis verzending vanaf
€ 19,95 binnen Nederland
Schrijver
Bowen, D. Keith (Bede Plc, Tanner, Brian K. (University of Durham
Titel
X-Ray Metrology in Semiconductor Manufacturing
Uitgever
Taylor & Francis Inc
Jaar
2006
Taal
Engels
Pagina's
296
Gewicht
544 gr
EAN
9780849339288
Afmetingen
241 x 159 x 19 mm
Bindwijze
Gebonden

U ontvangt bij ons altijd de laatste druk!


Rubrieken

Boekstra